Диффузионные насосы отличаются отсутствием механических движущихся частей, высокой надёжностью и способностью обеспечивать предельно низкое давление. Они используются в составе вакуумных систем совместно с форвакуумными насосами и дополнительным оборудованием. Если требуется диффузионный насос купить, важно учитывать производительность, тип рабочей жидкости и условия эксплуатации.
Принцип работы диффузионного насоса
Диффузионный насос принцип работы
Процесс работы включает несколько этапов:
- Нагрев: рабочее масло нагревается до температуры кипения;
- Формирование струй: пары масла с высокой скоростью проходят через сопловую систему;
- Захват газа: молекулы газа вовлекаются в поток пара и перемещаются вниз;
- Конденсация: пары охлаждаются на стенках корпуса и возвращаются в жидкое состояние.
В результате обеспечивается непрерывная работа диффузионного насоса без использования механических узлов. Газ выводится через форвакуумный насос, который является обязательной частью системы.
Конструкция и особенности
Схема диффузионного насоса включает корпус, нагревательный элемент, сопловую систему, охлаждаемые стенки и рабочую жидкость. Конструкция оптимизирована для создания направленного потока паров и эффективного удаления газа.
- Отсутствие движущихся частей — высокая надёжность и минимальный износ;
- Использование специального вакуумного масла;
- Сопловая система многоступенчатого типа;
- Водяное охлаждение корпуса для конденсации паров;
- Работа в составе вакуумной системы с форвакуумным насосом.
Преимущества диффузионных насосов
- Получение высокого и сверхвысокого вакуума;
- Высокая скорость откачки;
- Отсутствие механического износа;
- Надёжность и долговечность;
- Стабильная работа при длительной эксплуатации;
- Минимальные требования к обслуживанию.
Области применения
- Вакуумное напыление и нанесение покрытий (PVD, CVD);
- Вакуумные печи и термообработка;
- Электроника и микроэлектроника;
- Аэрокосмическая и авиационная промышленность;
- Научные лаборатории и исследования;
- Химическая промышленность;
- Металлургия и материаловедение.
Особенности эксплуатации
Перед запуском диффузионного насоса необходимо создать форвакуум (обычно до 40 Па). Работа при атмосферном давлении недопустима. Также требуется система охлаждения для конденсации паров и стабильной работы оборудования.
Благодаря отсутствию движущихся частей диффузионный вакуумный насос обеспечивает практически бесшумную работу и высокий ресурс при минимальном техническом обслуживании.
