Главное преимущество таких систем — отсутствие масла в зоне откачки, высокая производительность и способность достигать давления до 10⁻⁷ Па. Турбомолекулярный вакуумный насос обеспечивает эффективную работу в составе сложных вакуумных комплексов, включая установки напыления, масс-спектрометры, ускорители частиц и вакуумные камеры для космических испытаний.
Принцип работы турбомолекулярного вакуумного насоса
Принцип действия основан на взаимодействии быстро вращающихся лопаток ротора с молекулами газа. При столкновении с лопатками молекулы получают направленный импульс и перемещаются к выходу насоса. Скорость вращения ротора достигает 30 000–90 000 об/мин, благодаря чему создаётся сильный поток и обеспечивается сверхвысокий вакуум.
Для работы турбомолекулярный насос требует предварительного вакуума, создаваемого форвакуумным насосом (например, пластинчато-роторным или когтевым). Совместная работа этих систем формирует стабильную ступенчатую схему откачки и позволяет достичь давления ниже 10⁻⁵ Па.
Преимущества турбомолекулярных насосов
- Создание сверхвысокого вакуума до 10⁻⁷ Па.
- Отсутствие масла в зоне откачки — чистая вакуумная среда.
- Высокая стабильность и точность при длительной работе.
- Низкий уровень вибрации и шума благодаря прецизионной балансировке ротора.
- Совместимость с различными типами форвакуумных систем.
- Компактность и простота монтажа.
Области применения
- Научные исследования и физические эксперименты, включая ускорители частиц и плазменные установки.
- Производство полупроводников и микроэлектроники — процессы литографии, травления и осаждения плёнок.
- Космическое моделирование и испытания спутников, модулей и датчиков в условиях вакуума.
- Масс-спектрометрия и аналитические приборы высокого разрешения.
- Нанесение покрытий методом PVD и CVD в промышленности и декоративных технологиях.
Почему выбирают Urban Vortex
Компания Urban Vortex разрабатывает и поставляет надёжные турбомолекулярные вакуумные насосы, отличающиеся высокой скоростью откачки, устойчивостью к нагрузкам и точной балансировкой ротора. Оборудование соответствует современным требованиям по чистоте, энергоэффективности и безопасности. В линейке представлены модели с интеллектуальной системой управления, встроенными датчиками и защитой от перегрузки.
Примером таких решений является серия Urban Vortex UVTM — высокопроизводительные турбомолекулярные насосы для научных и промышленных применений.
