Диффузионная вакуумная система Urban Vortex предназначена для получения высокого вакуума в диапазоне от 10-2 до 10-5 Па в промышленных и научно-технических процессах. В состав системы входят масляный диффузионный насос в качестве основной ступени, механический роторный насос в качестве форвакуумной ступени, вакуумные клапаны, водоохлаждаемая разделительная заслонка, сильфоны и соединительные трубопроводы. Такая компоновка позволяет получить высокую скорость откачки, стабильную работу и надёжную эксплуатацию в длительном режиме.
Диффузионные насосы широко применяются для создания высокого вакуума за счёт потока паров рабочей жидкости, который увлекает молекулы газа из камеры и направляет их к форвакуумному выходу. Именно поэтому такие системы остаются востребованными в вакуумных печах, установках напыления, сушильных комплексах и других высокотехнологичных процессах.
Принцип работы системы
Механический пластинчато-роторный насос сначала снижает давление до уровня, необходимого для запуска и устойчивой работы диффузионного насоса. После этого масляный диффузионный насос берёт на себя основную высоковакуумную откачку. Внутри насоса рабочая жидкость нагревается, превращается в пар и через систему сопел создаёт направленный поток, который захватывает молекулы газа и удаляет их из вакуумной камеры. Для стабильной работы такой системы требуется эффективное охлаждение корпуса насоса, поэтому в состав установки включается водоохлаждаемая заслонка и элементы охлаждения.
Такая схема позволяет сочетать высокую производительность с надёжностью. Диффузионные насосы ценятся за простую конструкцию, возможность длительной непрерывной работы и высокую скорость откачки в области высокого вакуума. Для тяжёлых промышленных применений эта технология по-прежнему считается практичным и экономически оправданным решением.
Преимущества диффузионной вакуумной системы
Одним из главных преимуществ системы является высокая скорость откачки при работе в области высокого вакуума. Для серии LURPK заявлен широкий диапазон производительности — от 190 до 49 000 л/с, что позволяет подобрать конфигурацию под разные объёмы камер и технологические задачи. Диффузионные насосы также хорошо подходят для длительной непрерывной эксплуатации, что особенно важно для производств с продолжительными циклами обработки. По данным Edwards и Leybold, диффузионные насосы используются как эффективное решение для demanding-применений, где нужны высокая пропускная способность и устойчивость в работе.
- получение высокого вакуума в диапазоне 10-2–10-5 Па;
- высокая скорость откачки для промышленных и научных задач;
- возможность длительной непрерывной работы;
- надёжная работа в составе высоковакуумных комплексов;
- широкий выбор моделей под разные объёмы и процессы;
- удобная интеграция с механическим форвакуумным насосом.
Конструктивные особенности
Система серии LURPK компонуется как готовый высоковакуумный блок, в котором все основные элементы работают совместно. Масляный диффузионный насос выполняет функцию основной высоковакуумной ступени, а пластинчато-роторный насос — функцию форвакуумной поддержки. Для защиты процесса и повышения стабильности работы используются вакуумные клапаны, водоохлаждаемая перегородка, сильфоны и соединительные линии. В стандартных исполнениях управление может выполняться через пневматические вакуумные клапаны.
После модернизации основной ступени и перегородки система получает повышенную откачивающую способность в области низкого вакуума на входе, что положительно влияет на общий цикл вакуумирования. Такая компоновка особенно удобна для предприятий, которым нужна компактная и надёжная высоковакуумная установка с понятной схемой эксплуатации.
Области применения
Диффузионные вакуумные системы на базе роторных насосов широко применяются в электронике, химической промышленности, металлургии, авиации, материаловедении, биомедицине, атомной энергетике и космических исследованиях. Они также используются в вакуумных печах, установках вакуумного напыления, системах вакуумной заморозки и сублимационной сушки. Для промышленного применения Leybold и Edwards отдельно отмечают востребованность диффузионных насосов в coating-процессах, металлургии, дегазации, сушке и исследовательских установках.
Такая вакуумная система подходит для процессов, где требуется сочетание высокой скорости откачки, устойчивой непрерывной работы и получения глубокого вакуума в крупногабаритных или технологически сложных установках.
Почему выбирают Urban Vortex
Диффузионная вакуумная система Urban Vortex — это решение для предприятий, которым нужен высокий вакуум, надёжная работа и высокая производительность в длительном режиме. Сочетание диффузионного насоса, роторной форвакуумной ступени и продуманной обвязки позволяет использовать систему в широком спектре промышленных и научных задач, где критичны стабильность, эффективность и удобство эксплуатации.
